近日，蘇州市、無(wú)錫市、常州市工業(yè)和信息化局共同發(fā)布2023年蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備擬認(rèn)定公示名單。創(chuàng)微微電子（常州）有限公司的單晶圓刻蝕清洗設(shè)備成功通過(guò)公示認(rèn)定，實(shí)現(xiàn)首臺(tái)套零突破。 

蘇錫常首臺(tái)（套）重大裝備認(rèn)定旨在鼓勵(lì)和引導(dǎo)裝備制造企業(yè)開(kāi)展技術(shù)創(chuàng)新，積極研制具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、整機(jī)性能或核心技術(shù)指標(biāo)實(shí)現(xiàn)重大突破，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先或國(guó)際先進(jìn)水平的高端裝備和關(guān)鍵部件。該認(rèn)定不僅是對(duì)企業(yè)技術(shù)實(shí)力和創(chuàng)新能力的認(rèn)可，也是對(duì)企業(yè)為推動(dòng)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展所作貢獻(xiàn)的肯定。

創(chuàng)微微電子（常州）有限公司成立于2020年，是常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司的全資子公司、具備國(guó)內(nèi)先進(jìn)技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售于一體，所開(kāi)發(fā)的工藝設(shè)備主要用于濕法工藝步驟，包含光刻膠去除、氧化膜刻蝕、金屬膜刻蝕、氮化硅刻蝕、爐管前清洗等。

此次入選的單晶圓刻蝕清洗設(shè)備主要是利用清洗工藝將晶圓表面的殘留去除，殘留溶解在清洗液中，晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)提供去除殘留的離心力，在離心力的作用下清洗液攜帶殘留一起從晶圓的表面甩出，達(dá)到清洗晶圓的目的。該設(shè)備擁有多杯連動(dòng)工藝腔、獨(dú)創(chuàng)的CUP（杯罩）升降機(jī)構(gòu)、多藥液多功能工藝處理手臂、獨(dú)有供液方法及氣液分離結(jié)構(gòu)等多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，目前已與多家知名企業(yè)達(dá)成合作意向。

首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備是推動(dòng)制造業(yè)高端化、智能化綠色化發(fā)展的重要抓手，未來(lái)，創(chuàng)微微電子（常州）有限公司將加快推動(dòng)重大技術(shù)裝備攻關(guān)進(jìn)程，進(jìn)一步加強(qiáng)首臺(tái)（套）重大裝備研發(fā)應(yīng)用，為裝備制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展做出持續(xù)貢獻(xiàn)。