近日，公司子公司常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司完全自主研發(fā)的電子級硅芯清洗設(shè)備成功下線，將于近日部署至某合作客戶處。 

此款硅芯清洗設(shè)備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設(shè)備，用于清洗硅芯表面有機(jī)物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機(jī)能水等工藝，產(chǎn)品可用于高純光伏硅片和半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

 主要技術(shù)特點(diǎn)：

1. 材料升級：與德國Rochling合力開發(fā)耐氧化，耐高溫材料用于槽體制作。

2. 工藝升級：結(jié)合國外成熟工藝與機(jī)能水清洗工藝，清洗能力更強(qiáng)。

3. 內(nèi)部潔凈升級：內(nèi)部流場的全新設(shè)計(jì)，搭配更高效FFU、抽風(fēng)通道及酸堿隔離裝置，內(nèi)部更潔凈。

4. 結(jié)構(gòu)升級：底部龍門式Robot設(shè)計(jì)，運(yùn)載更穩(wěn)定，運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生的Particle可更快排出設(shè)備外。

5. 硅芯載體優(yōu)化，更穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，更小的接觸面積配合旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，清洗更徹底。

6. 制作升級：槽體及槽內(nèi)零件多采用折彎制作工藝，減少犄角疙瘩及焊接內(nèi)的藏污納垢。

7. 裝配升級：全設(shè)備設(shè)置在千級潔凈室生產(chǎn)。 

長期以來，電子級硅芯硅料清洗設(shè)備市場份額都被外國廠商占有，捷佳偉創(chuàng)作為太陽能光伏電池設(shè)備行業(yè)先進(jìn)企業(yè)及半導(dǎo)體設(shè)備制造商，堅(jiān)持以研發(fā)制造先進(jìn)專業(yè)設(shè)備，推動(dòng)國內(nèi)相關(guān)行業(yè)發(fā)展為己任。憑借雄厚的研發(fā)實(shí)力及近年來探索泛半導(dǎo)體行業(yè)裝備開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，接連推出多款性能出眾、引領(lǐng)行業(yè)的清洗設(shè)備。此次電子級硅芯硅料清洗設(shè)備研發(fā)的過程中，研發(fā)人員攻堅(jiān)克難，突破了諸多關(guān)鍵技術(shù)，為設(shè)備的成功研發(fā)奠定了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)，并成為國內(nèi)率先達(dá)到電子級標(biāo)準(zhǔn)的硅芯硅料清洗設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)廠商。目前公司已實(shí)現(xiàn)表金屬0.5ppbw以上等級的電子級硅料批量出貨，2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產(chǎn)品。 

未來，公司將繼續(xù)秉承“技術(shù)領(lǐng)先，管理領(lǐng)先，服務(wù)領(lǐng)先”的發(fā)展戰(zhàn)略，繼續(xù)精進(jìn)光伏電池生產(chǎn)設(shè)備及半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備研發(fā)，并向更廣闊的產(chǎn)品領(lǐng)域和更豐富的技術(shù)路線繼續(xù)發(fā)展，為客戶提供技術(shù)先進(jìn)、質(zhì)量過硬、服務(wù)周到的產(chǎn)品。